序号

设备名称

主要配置参数

是否

响应

供应商响应的技术内容

证明材料页码

1

高频四极杆质量分析器

*分辨率＞160；

*离子源电子能量 0 eV-150 eV 可调；

*He在D2或D2在He的检测限＜10 ppm；

测试质量数范围1-20amu；

*三重四极过滤器；

配备双射频头，实现射频自动切换；

*配备法拉第杯和电子倍增器双检测器。

2

变径铜管

1/2inch转1/4inch 一体变径，无氧铜管，真空退火处理，其中，1/2inch部分长度不低于50cm，1/4inch部分长度不低于15cm

3

铜管压裂装置

全金属密封，

真空度优于1.0×10-4Pa，

10工作位

液压驱动压裂冷密封铜管

4

气动波纹管阀

全金属密封角阀，CF16刀口法兰接口，使用寿命＞10000次

5

离子规及控制器

双灯丝，带自烘烤去气功能，极限测试压力：低于1.0E-10mbar

6

电容规及控制器

真空度量程0.1-100mbar,测试精度优于0.25%

7

钛锆钒铝泵

吸气剂材料：钛锆钒铝合金(ZAO)

工作温度：室温

极限真空：<10?6?3?0?1?0?1 mbar

抽速（对H?6?0）：不低于250 L/s

吸气容量（对H?6?0）：大于1150 Torr.L

适用气体：活性气体：H?6?0、CO、CO?6?0、N?6?0、O?6?0、H?6?0O等；不吸附惰性气体（He、Ar、CH?6?2）

接口法兰：CF35

8

锆铝泵

吸气剂材料：锆铝合金

激活条件：700–900°C × 10–30分钟

工作温度：室温至400°C

极限真空：<10-?0?1?0?1 mbar

抽速（对H?6?0）：初始抽速：50–100 L/s

吸气容量（对H?6?0）: >1000 Pa?6?1m?0?6/g， CO/N?6?0: >100 Pa?6?1m?0?6/g

适用气体：活性气体：H?6?0、CO、CO?6?0、N?6?0、O?6?0、H?6?0O等；

不吸附惰性气体（He、Ar、CH?6?2）